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主要业务有:1、美国Maxtek公司的石英晶体膜厚测量仪,传感器。其主要产品有:SC系列石英振子传感器(5MHz,6 MHz), S,D,B,R系列晶振传感头(单晶,双晶,6晶,可烘烤,可调节), TM-100,TM-350,TM-400薄膜沉积监测仪, MDC-360/361和MDC-370薄膜沉积控制器 2、美国Telemark公司的电子枪和光学膜厚控制仪等.主要产品有:电子枪(E-Beam Sources)及电源,水蒸汽低温冷阱(Water Vapor Cryotraps), 原位光谱监测仪(In-Situ Spectroscopic Optical Monitor), 光谱等离子体化学监控仪(Plasma Chemistry Monitors)3、美国COMDEL公司直流、射频及微波电源4、英国牛津科学(OXFORD SCIENTIFIC)公司的微波等离子体源、电子束蒸发源、原子源、高能电子衍射枪。5、英国PLASMA QUEST公司磁控溅射镀膜设备。6、美国安斯超科学公司(Angstrom sciences, Inc)的圆形磁控溅射阴极、矩形磁控溅射阴极、各种靶材、溅射阴极翻新.7、德国森泰科学仪器公司(SENTECH INSTRNMENTS)的椭圆膜厚测量仪和等离子刻蚀沉积设备。8、专业销售德国普发(PFEIFFER)真空泵系列产品,包括... [
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